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半導體&薄膜高溫計

美國AE公司旗下的Sekidenko是溫度計品牌,包括光纖溫度計、快速高溫計、發射率計和溫度控制儀器等。Sekidenko高溫計用于電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)、低壓化學氣相沉積(LPCVD)、物理氣相沉積(PVD)和金屬刻蝕。由于 OR400T 具有緊湊型設計,因此能夠輕松整合以滿足多種工藝應用的特殊要求。

  • Sekidenko OR400M 高溫計

    Advanced Energy ?的 OR400M光學高溫計將Sekidenko產品系列的應用范圍擴展至3.3μm–5.2μm的中紅外波長范圍。 OR400M可進行單通溫度測量,用于半導體設備的高精密溫度測量,用于硅片,腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數據接口。OR400M設計緊湊,...

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  • Sekidenko OR4000T 高溫計

    Advanced Energy ?的 OR4000T多通道光纖測溫儀(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過程,應用于半導體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達2kHz的讀取速率,符合半導體應用中極為嚴格...

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  • Sekidenko OR4000E 高溫計

    Advanced Energy ?的 OR4000E多通道光纖測溫儀(OFT)能夠自動探測測量材料發射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實時輻射率補償的優點。其采用模塊化設計,可快速量身定制,...

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  • Mikron PhotriX Series 高溫計

    Mikron PhotriX 系列高溫計是一款高精度的非接觸式紅外測溫儀,可以用于單通道測量或者多通道測量,使用短波、窄帶紅外探測器,最大限度的減少發射率誤差,提高測量精度;提供了從30 - 2600℃的超寬測溫范圍,±1.5°C或讀數的0.15%的高測量精度,0.15°C/每...

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  • Sekidenko OR400T 高溫計

    Advanced Energy ?的OR400T光纖溫度計能為半導體制程提供優異的非接觸式溫度測量解決方案,具體包括PECVD、LPCVD、PVD和金屬蝕刻等應用。OR400T設計緊湊,易于集成,可滿足許多工藝應用的獨特要求。

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