美國(guó)AE公司旗下的Sekidenko是溫度計(jì)品牌,包括光纖溫度計(jì)、快速高溫計(jì)、發(fā)射率計(jì)和溫度控制儀器等。Sekidenko高溫計(jì)用于電漿輔助化學(xué)氣相沈積(PECVD)、低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、物理氣相沉積(PVD)和金屬刻蝕。由于 OR400T 具有緊湊型設(shè)計(jì),因此能夠輕松整合以滿足多種工藝應(yīng)用的特殊要求。
Advanced Energy ?的 OR400M光學(xué)高溫計(jì)將Sekidenko產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3μm–5.2μm的中紅外波長(zhǎng)范圍。 OR400M可進(jìn)行單通溫度測(cè)量,用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測(cè)量,用于硅片,腔室的精確測(cè)溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計(jì)緊湊,...
查看詳情 >>Advanced Energy ?的 OR4000T多通道光纖測(cè)溫儀(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測(cè)溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達(dá)2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格...
查看詳情 >>Advanced Energy ?的 OR4000E多通道光纖測(cè)溫儀(OFT)能夠自動(dòng)探測(cè)測(cè)量材料發(fā)射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn)。其采用模塊化設(shè)計(jì),可快速量身定制,...
查看詳情 >>Mikron PhotriX 系列高溫計(jì)是一款高精度的非接觸式紅外測(cè)溫儀,可以用于單通道測(cè)量或者多通道測(cè)量,使用短波、窄帶紅外探測(cè)器,最大限度的減少發(fā)射率誤差,提高測(cè)量精度;提供了從30 - 2600℃的超寬測(cè)溫范圍,±1.5°C或讀數(shù)的0.15%的高測(cè)量精度,0.15°C/每...
查看詳情 >>Advanced Energy ?的OR400T光纖溫度計(jì)能為半導(dǎo)體制程提供優(yōu)異的非接觸式溫度測(cè)量解決方案,具體包括PECVD、LPCVD、PVD和金屬蝕刻等應(yīng)用。OR400T設(shè)計(jì)緊湊,易于集成,可滿足許多工藝應(yīng)用的獨(dú)特要求。
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