Advanced Energy ?的 OR4000T多通道光纖測溫儀（OFT）可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過程，應(yīng)用于半導體硅片，外延，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫；OR4000T型具備多通道能力，支持高達2kHz的讀取速率，符合半導體應(yīng)用中極為嚴格的要求。其采用模塊化設(shè)計，可快速量身定制，滿足獨特的工藝應(yīng)用要求。